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/ detailed descriptionEDI 膜堆将电渗析技术与离子交换技术相结合,利用阴、阳离子交换膜、离子交换树脂、淡、浓水分离室等部件组成工作单元,依据产水量组装成各种型号的膜堆,在外加直流电场驱动下实现水的纯化,其有效脱盐率可达 99.9,经实际运行,产水水质稳定,可以连续生产高达高达 16~18 MΩ·cm 以上的超纯水。
EDI 膜堆去除水中离子是通过内置的离子交换树脂进行的。其应用如下:(以 Na + 代表阳离子,以 Cl - 代表阴离子)
R-OH + Cl - → R-Cl + OH -
R-H + Na + → R-Na + H +
由于受 EDI 膜堆内离子交换树脂填充容量,离子交换树脂在使用一段时间后会逐渐饱和,因此离子交换树脂须再生后方可继续使用。
EDI 膜堆是由数个浓水室、淡水室组合单元叠加构成的。
浓水室——两个淡水室相连之间由阴、阳离子交换膜片组成的,用以收集浓水的区域称为浓水室。
淡水室——由在阴、阳离子交换膜片之间填充混合树脂,用以制造淡水的区域称为淡水室。
电板——用于在膜堆运行中产生电场作用的通电导板,称为电板。通常分为正和负,位于膜堆的两端。
天宇纯水设备设计图(部分展示):
超纯水水质参考标准:
A、需要用户注意的是,分析数据通常依赖于仪器和技术。因此,表1的数字只是基线。每当半导体行业开发新的线宽时,应对此表进行修订,以保证指南的新性。
B、类型E-1.3中显示的值是将国际半导体技术发展蓝图中己知污染物的风险因素与当前半导体加工中的相关线宽的生产制程进行校准的结果,在某些情况下这些值可能会与类型E-1.2中的值不同。用户如果对E-1.2型水使用更高数值,可以放心使用。
除电阻率外,所有值均等于或小于。
C、硼仅作为监测离子交换床的操作参数进行监测。
备注:以上数据根据英文版ASTM D 5127-2018翻译而成,如有偏差请以英文版原文为准。
工艺流程图:
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Well appointed真实案例,见证品质
Real case技术创新,技术支持
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